반도체
반도체는 현대 사회에 필수적인 요소입니다. 컴퓨터와 휴대전화뿐만 아니라 통신, 운송, 산업 장비, 재생 에너지에도 사용됩니다.
제조업체들은 고도로 전문화되고 선진화된 기업들과의 치열한 글로벌 경쟁에 직면해 있습니다. 시장 점유율을 확보하고 유지하기 위해서는 높은 품질 기준을 충족하는 동시에 수율을 최적화하고 경쟁력 있는 가격으로 칩을 생산해야 합니다. 그러나 원자재와 숙련된 노동력은 그 어느 때보다 부족하여 비용이 상승하고 있습니다. 반도체 기술 자체도 점점 더 복잡해지고 검사가 어려워지고 있습니다. 트랜지스터가 작아지면서 미세한 결함이 발생하기 쉽고, 3D 칩 구조로 전환되면서 숨겨진 층이 있는 복잡한 구조가 생겨 각 층마다 검사가 필요합니다.
비용 및 품질 문제를 해결하는 동시에 경쟁 우위를 확보하기 위해 반도체 제조업체는 첨단 기술을 활용해 검사를 자동화하고 있습니다.
어플리케이션
UnitX 다음과 같은 모든 반도체 제조 공정에 대한 검사를 자동화합니다.
웨이퍼 레이어링
반도체 웨이퍼는 개별 층으로 구성되어 있으며, 각 층은 리소그래피, 에칭, 이온 주입, 증착 등 일련의 꼼꼼한 공정을 거칩니다. 각 층은 다음 층을 도포하기 전에 결함 여부를 검사해야 합니다. 이 단계에서 결함을 발견하지 못하면 최종 테스트에서야 발견되거나 아예 발견되지 않을 수 있습니다.
UnitX 적층 전에 감지하지 못하면 칩 성능이 저하되고 조기 고장으로 이어질 수 있는 웨이퍼 결함을 감지합니다.
웨이퍼 테스트/다이싱
웨이퍼는 가공 후 전기적 검사를 통해 결함 있는 회로를 식별합니다. 그런 다음 웨이퍼를 개별 반도체 소자 또는 다이(die)로 절단하여 최종 집적 회로(IC)로 패키징합니다. 다이싱의 목표는 웨이퍼 손상을 최소화하고 각 다이의 무결성을 보장하면서 다이를 분리하는 것입니다.
UnitX 결함이 있는 전기 테스트 및 임팩트 다이 수율로 이어질 수 있는 결함 있는 테스트 장비를 감지합니다. UnitX 또한 궁극적으로 성능 저하 및 장치 고장으로 이어질 수 있는 다이싱 결함도 감지합니다. 이 감지 모델은 웨이퍼의 정상적인 표시와 테스트 및 다이싱 기술 자체의 문제를 나타낼 수 있는 결함을 구분할 수 있습니다. UnitX사용자가 어떤 결함이 허용 오차 내에 있고 어떤 결함이 허용 오차 내에 있지 않은지 지정할 수 있는 설정 가능한 임계값 기능을 통해 낭비를 최소화할 수 있습니다.
IC 조립/패키징
다이는 최종 집적 회로(IC)로 패키징됩니다. 먼저, 다이를 패키지에 장착하고 전자 장치에 통합될 수 있도록 연결부를 제공합니다. 칩과 패키지에 가는 와이어를 본딩하여 신호와 전력이 칩을 드나들 수 있는 경로를 제공합니다. 그런 다음 칩과 와이어 본딩은 손상을 방지하기 위해 보호재로 캡슐화됩니다.
UnitX 패키징 공정 전반에서 결함을 감지합니다. 이러한 결함은 미용적 문제부터 IC의 구조적 무결성과 환경 보호 기능을 손상시키는 문제까지 다양하며, 치명적인 고장으로 이어질 수 있습니다.
솔루션
(타사 비전 시스템과의 통합을 통해)
신속한 배포 UnitX 기존 시스템에 AI를 적용합니다. UnitXCorteX는 특수 반도체 광학 검사 장비 및 X-Ray와 통합되어 서브마이크론 웨이퍼 제조 및 고급 패키징 결함을 감지하고 분류합니다.
장점
UnitX의 고유한 장점은 궁극적으로 반도체 제조업체가 수율을 개선하는 동시에 품질을 보장하는 데 도움이 됩니다.
비용 절감
100% 자동화된 인라인 검사로 수동 검사원의 필요성이 대체됩니다.
처리량 증가
사이클 타임에 맞는 고속 이미징 및 AI 추론 속도
폐기물 감소
반도체 제조 공정의 모든 단계에 배포하여 생산 공정 초기에 결함을 식별하고 신속한 시정 조치를 제공합니다.
탈출 감소
모양, 크기, 표현이 매우 다양하고 복잡한 결함을 정확하게 감지합니다.
과도한 과잉 사용 감소
제조 공정의 일부로 기능적 결함과 정상적인 표시/패턴을 구분합니다. 허용 오차 범위 내의 결함과 허용 불가 결함을 구분하기 위한 조정 가능한 임계값을 제공합니다.
도입
UnitX
UnitX 제조업체의 검사 자동화를 지원하는 AI 비전을 제공합니다. 반도체 제조업체는 UnitX 웨이퍼 적층 및 다이싱부터 집적 회로 와이어 본딩 및 패키징까지 전체 제조 공정에 걸쳐 결함을 감지하는 솔루션입니다.
반도체 응용 사례
방법에 대한 자세한 내용 UnitX 귀하를 위해 검사를 자동화할 수 있습니다. 문의해 주세요. LINK